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日本dip coater膜厚計(jì)AFW-100W

訪問次數(shù):1322

更新日期:2024-03-20

簡要描述:

日本dip coater膜厚計(jì)AFW-100W
推薦使用反射光譜膜厚計(jì)用于膜厚測量應(yīng)用,例如硬涂層。

日本dip coater膜厚計(jì)AFW-100W
類型數(shù)字式測量范圍1

日本dip coater膜厚計(jì)AFW-100W

使用反射光譜膜厚計(jì)用于膜厚測量應(yīng)用,例如硬涂層。

[機(jī)理] 當(dāng)
樣品受到光照射時(shí),它會(huì)根據(jù)膜厚顯示出*的光譜。薄膜表面反射的光與穿過薄膜并在基板表面反射的光相互干擾。當(dāng)光的相位匹配時(shí),強(qiáng)度增加,而當(dāng)光相移時(shí),強(qiáng)度降低。反射計(jì)是一種通過分析該光譜來測量薄膜厚度的方法。

[優(yōu)點(diǎn)] -
與 SEM 和觸針式輪廓儀不同,無需接觸即可進(jìn)行測量。
- 與橢偏儀相比,便宜且易于使用。

將來也可以安裝在量產(chǎn)設(shè)備中。

日本dip coater膜厚計(jì)AFW-100W

模型AFW-100W
對(duì)于一般膜厚
設(shè)備配置單元主體、測量臺(tái)、2 分支光纖 (1.5m)、PC
測量波長范圍380-1050nm
膜厚測量范圍100nm~1μm(曲線擬合法)
1 μm 至 60 μm (FFT)
測量再現(xiàn)性0.2%-1%(視膠片質(zhì)量而定)
測量光斑直徑約7mm
光源12V-50W鹵素?zé)?/span>
測量理論曲線擬合法/FFT法
外形尺寸 (mm)測量臺(tái):W150 x D150 x H115
機(jī)身:W230 x D230 x H135
大約重量5.5kg * 不包括 PC
公用事業(yè)AC100V 50 / 60Hz
轟天猛將鹵素?zé)?/span>


顯微分光膜厚儀

通過使用顯微鏡,可以測量具有過去無法測量的不規(guī)則性的電子元件和曲面透鏡。

它測量相對(duì)于透鏡曲率的微小區(qū)域并抑制散射光以進(jìn)行測量。 它可以針對(duì)晶片圖案和電子元件的不均勻性測量微小區(qū)域,抑制散射光并實(shí)現(xiàn)測量。
姓名顯微分光膜厚儀
設(shè)備配置顯微鏡、單元主體、光纖 (1m)、PC
顯微鏡奧林巴斯金相顯微鏡
測量波長范圍380-700nm
膜厚測量范圍50nm-1.5μm (C/F)
1.5 μm 至 50 μm (FFT)
測量再現(xiàn)性0.2%-1%(視膠片質(zhì)量而定)
測量光斑直徑Φ6 μm 至 Φ120 μm
光源12V-100W鹵素?zé)?/span>
測量理論曲線擬合法/FFT法
外形尺寸 (mm)顯微鏡:W317.5 x D602 x H480
機(jī)身:W230 x D230 x H135
大約重量25kg * 不包括 PC
公用事業(yè)AC100V 50 / 60Hz
轟天猛將鹵素?zé)?/span>


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