兼容Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金屬的高規(guī)格緊湊型鍍膜機(jī)

發(fā)布日期：2024-07-04      瀏覽次數(shù)：227

兼容Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金屬的高規(guī)格緊湊型鍍膜機(jī)


特征

DC 濺射類別中最小的超緊湊型號(hào)。

配備皮拉尼真空計(jì)，確保成膜條件的再現(xiàn)性

標(biāo)準(zhǔn)配備手動(dòng)快門

使用專用的樣品臺(tái)和載物臺(tái)可以輕松改變 TS 之間的距離。

可以進(jìn)行鎢涂層，因此也可用于制備高分辨率 SEM 樣品。

用途和結(jié)果示例

將電極膜粘貼到各種設(shè)備上

用于反射薄膜生產(chǎn)等。

基本規(guī)格

陰極	φ2英寸直流磁控管/扁平電極
適用對象	Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al
壓力測量	皮拉尼真空計(jì)
壓力控制	帶針閥手動(dòng)控制 入口直徑 φ6mm 一觸式接頭
工藝氣體	氬氣
真空泵	直聯(lián)旋轉(zhuǎn)泵：20L/min（帶自動(dòng)泄漏）
腔室尺寸	內(nèi)徑φ90×D90mm（SUS材質(zhì)）
樣品交換方式	前門開閉方式
尺寸（寬/深/高）	機(jī)身：160/450/290mm 轉(zhuǎn)速：295.5/156/199.5mm
重量	本體：9kg RP：9kg