半導體行業用軟X射線離子靜電消除裝置

發布日期：2024-04-04      瀏覽次數：364

半導體行業用軟X射線離子靜電消除裝置

SXN 系列通過使用軟 X 射線照射電離特定區域的空氣來消除靜電。
非常適合在清潔環境中使用，主要用于半導體、LCD、OLED 等的制造過程。





特征

• 清潔環境的理想選擇
  與電暈放電離子發生器不同，放電針不會產生顆粒或粘附。由于不使用空氣或風扇，因此不存在氣流造成的環境干擾。

• 與免維護 
  電暈放電離子發生器不同，它沒有放電針，因此無需更換或清潔電極。當輻照燈接近其使用壽命時，警報會通知您。

• 離子平衡±0V
  由于⊕離子和?離子生成均勻，離子平衡在±0V時良好，不會發生反向充電。

• 高速除靜電性能
  ：瞬間電離帶電物體周圍的氣氛，可以快速衰減大范圍的靜電。

• 緊湊的機身和
  小型頭部單元易于安裝，即使在有限的空間內也能輕松安裝。

輻照范圍和衰減時間性能











軟X射線照射的操作注意事項（法律規定）




• 直接暴露于軟 X 射線對人體可能會產生有害影響并且很危險。使用本產品時，需要采用以下屏蔽結構。

• 根據電離輻射危害預防條例，您必須在預定安裝日期 30 天前向主管勞動基準監督署提交通知。

關于軟X射線的屏蔽（參考資料）




通過考慮軟 X 射線屏蔽結構材料和屏蔽率來遵守設備安全標準。




屏蔽材料

模型	設備配置
SXN-10V	控制器SXC-10T 1臺	照射頭SXH-10V 1臺
SXN-102V	控制器SXC-102T 1臺	照射頭SXH-10V 2臺
SXN-104V	控制器SXC-104T 1臺	照射頭SXH-10V 4臺

規格　（主機、控制單元）
模型		SXN-10V	SXN-102V	SXN-104V
電源電壓/頻率		AC100~240V 50/60Hz
能量消耗		23W	40W	50W
離子發生方式		軟X射線照射法
X射線輻射源		軟X射線管
冷卻方式		自然冷卻
連接頭數		SXN-10V×1臺	SXN-10V×2臺	SXN-10V x 4 臺
頭部重量		SXN-10V：0.29kg/臺
控制器重量		SXC-10T：0.52kg	SXC-102T：1.14公斤	SXC-104T：1.64公斤
頭部更換指南		大約運行 8,000 小時
外部輸出	警報	磁頭異常、系統錯誤等
	互鎖	聯鎖開/關
	偏僻的	遠程開/關
	力量	電源開/關
	隨著時間的推移	磁頭更換時間通知（7500小時）
展示		電源、聯鎖、超時、磁頭異常
保證		購買后1年

材料		厚度（毫米）
①	銅	0.1mm以上
②	鋁	0.2mm以上
③	玻璃	1毫米以上
④	氯乙烯	5毫米以上
⑤	丙烯酸纖維	10毫米以上
*	抗靜電亞克力：5mm以上

屏蔽率